MULTIPASS

Zellbasierte EUV-Quellen für Industrie, Forschung und Biowissenschaften

Funding

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Subprojekt: "Grundlegende Untersuchungen zur Impulskompression in gasgefüllten Multipasszellen"

Ziel des Projekts MULTIPASS ist die Erforschung und Entwicklung eines hocheffizienten und skalierbaren Verfahrens zur Pulskompression von Ultrakurzpulslasern. Dies würde eine breitere Palette von Anwendungen für diese Quellen ermöglichen, insbesondere im Bereich der Frequenzkonversionsverfahren.

Kernstück des Projekts sind edelgasgefüllte Multipass-Zellen, die eine nahezu verlustfreie spektrale Erweiterung von ultrakurzen Laserpulsen ermöglichen. Sie ermöglichen eine Skalierung auf nie dagewesene Niveaus von Pulsenergie und mittlerer Leistung bei gleichzeitig hohen Ausrichtungstoleranzen, was eine Notwendigkeit für die zuverlässige Implementierung in industrielle Systeme ist. Innovationsbereiche sind die Skalierung der Pulsenergie, die Verkürzung der Pulsdauer auf wenige optische Zyklen, die Verbesserung der Pulsqualität und der Übergang zu 2µm-Wellenlängen. All dies führt zur Entwicklung von leistungsfähigeren und kompakteren kohärenten EUV-Quellen.

MULTIPASS ist ein Gemeinschaftsprojekt, in dem das Institut für Angewandte Physik die grundlegenden Aspekte der Pulskompression untersucht, die LAYERTEC GmbH sich auf die Entwicklung breitbandiger und hochleistungsfähiger optischer Spiegel konzentriert und die Active Fiber Systems GmbH die Erkenntnisse und Komponenten der Partner nutzt, um zuverlässige und langzeitstabile Systeme zu entwickeln.

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Grafik: EU

Publications

H. Stark, C. Grebing, J. Buldt, A. Klenke, and J. Limpert, “Divided-pulse nonlinear compression in a multipass cell,” Journal of Physics: Photonics 4, 035001 (2022).

M. Benner, M. Karst, C. A. Mendez, H. Stark, and J. Limpert, “Concept of enhanced frequency chirping for multi-pass cells to improve the pulse contrast,” Journal of the Optical Society of America B 40, 301 (2023).


M. Karst, P. Pfaller, R. Klas, Z. Wang, P. Gierschke, J. Rothhardt and J. Limpert, “22W average power high pulse energy multipass cell based post-compression in the green spectral range,” accepted for publication in Optics Letters (2023).