M.Eng. Tina Weichelt
Dissertation Topic: | Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer StrukturenExternal link |
Doctorate for the Title: | Dr.-Ing. |
Supervisor: | Prof. Dr. Andreas Tünnermann |
Date of the Disputation: | 02.07.2019 |