M.Sc. Martin Kommer
Thema der Dissertation: | Korrelation zwischen Plasma- und Schichteigenschaften beim System Mo-N bei dc-MS- bzw. HiPIMS-Plasmaabscheidungen |
Promotion zum: | Dr. -Ing. |
Betreuer: | Prof. Dr. Frank Schmidl |
Termin der Disputation: | 6. November 2018 |