M.Eng. Tina Weichelt
Thema der Dissertation: | Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer StrukturenExterner Link |
Promotion zum: | Dr.-Ing. |
Betreuer: | Prof. Dr. Andreas Tünnermann |
Termin der Disputation: | 02.07.2019 |