M.Eng. Tina Weichelt

Thema der Dissertation: Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer StrukturenExterner Link

Promotion zum: Dr.-Ing.

Betreuer: Prof. Dr. Andreas Tünnermann

Termin der Disputation: 02.07.2019