Dipl.-Ing. Nicolas Benoit
| Thema der Dissertation: | Radiation Stability of EUV Multilayer MirrorsExterner Link |
| Promotion zum: | Dr. rer. nat. |
| Betreuer: | Prof. Dr. Andreas Tünnermann |
| Termin der Verteidigung: | 28. Juni 2007 |
| Thema der Dissertation: | Radiation Stability of EUV Multilayer MirrorsExterner Link |
| Promotion zum: | Dr. rer. nat. |
| Betreuer: | Prof. Dr. Andreas Tünnermann |
| Termin der Verteidigung: | 28. Juni 2007 |